光谱椭偏仪采用旋转分析仪椭偏技术来表征薄膜样品。它使用高速 CCD 阵列检测来收集整个光谱。它测量从纳米厚度到数十微米的薄膜以及从透明到吸收材料的光学特性。它精确测量折射率、薄膜厚度和消光系数等光学常数。

我们的标准系统配有石英卤素灯，可从可见光到红外范围进行测量。我们的光谱椭偏仪软件允许用户测量和分析多层薄膜和复杂的薄膜结构。提供自准直仪、Z 台和倾斜平台用于样品对准。XY 电动台和电动旋转台是用于映射薄膜均匀性的可选功能。

软件功能：
获取并分析不同波长和角度的 psi、delta 和反射率
用户可扩展材料库
数据可以保存为Excel或文本文件
高级数学拟合算法
提取厚度和光学常数
参数化模型
多层厚度测量