斐索干涉仪是最简单、用途最广泛的干涉仪之一，常用于平面和球面的常规测量。它用于测量平面、棱镜、透镜等光学元件，或轴承、密封面或抛光陶瓷等精密金属部件。可以使用静态条纹分析软件进行测量。

斐索干涉仪基本上配有高光学质量（λ / 20）参考平面。测试表面的反射与参考平面的反射发生干扰，产生条纹。条纹的形状和质量取决于测试平面的表面质量。使用高分辨率 CCD 相机将条纹数字化。通过分析条纹，我们可以获得P-V平面度、RMS 平面度、3D表面图等。该仪器直立安装，可轻松固定测试样品。倾到/倾斜测试底座可使测试样品与参考表面对齐。高品质像差校正光学设计可提高性能。

可做实验：
测量不同表面的光学平整度
固体棱镜的折射率使用公式
n = sin ( (α+β) / 2 ) / sin (α/2)
其中α是棱镜的角度，β是最小偏向角。

应用
斐索干涉仪通常用于测量光学表面的形状：通常，将制造的透镜或镜子与具有所需形状的参考件进行比较。图1中显示的是斐索干涉仪，它可能用于测试光学平面。将精确形状的参考平面放置在待测平面的顶部，由窄垫片隔开。参考平面略微倾斜（只需倾斜几分之一度）以防止平面的后表面产生干涉条纹。与轴线平行的单色光束照亮两个平面，分束器允许在轴上观察条纹。

斐索干涉仪是一种将两个反射面相对放置的干涉装置。如图所示，来自透明的第一反射器的后表面反射光与来自第二反射器的前表面反射光相结合，形成干涉条纹。