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SILAR 涂层系统

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薄膜沉积的最新解决方法之一是连续离子层吸附和反应 (SILAR) 方法,也称为化学浴沉积的改进版。由于它是一种化学方法,因此可以涂覆多种基材。 Holmarc 的 SILAR 涂层系统旨在使整个过程自动化,以避免操作员疲劳和与之相关的错误。 在手动 SILAR 过程中,操作员必须执行数百次重复浸入溶液和水中。 在可能持续数小时的手动过程中,很难控制浸渍持续时间和浸渍次数。 在自动化装置中,操作员只需将基板夹入支架中,并为控制器设置所需的浸渍周期和持续时间。 该型号:HO-TH-03A8 有一个电动基板支架,可用于搅拌溶液。在这个模型中,八个烧杯围绕样品浸渍臂的旋转轴呈圆形排列。每个烧杯都有加热板。这 8 个位置中每个位置的热板表面的最大直径为 3 英寸。通过以所需速度旋转基板和支架,溶液可以在浸渍过程中保持搅拌。旋转速度可编程为 2 – 200 rpm。可以为每个烧杯设置浸渍速度、浸渍持续时间、检索速度和干燥持续时间。每个热板可以设置在不同的温度。温度最高可设置为环境温度 350°C。 该设备可根据要求定制。 Holmarc 开发了模型,其中使用受控加热器将每个烧杯独立保持在指定温度。
    执行器     步进电机
    驱动机制    丝杆
    浸泡时间     0 – 99 秒/分钟/小时
 浸渍次数     1 – 999
    热板温度     环境温度至 350°C
    搅拌速度     2 – 200 转
    电脑连接     串行端口 (RS 232)
    行程     75 毫米
    电源输入     230V, 50Hz
    烧杯位置数    8
    可以加载的样品数量     5
   程序数量     5
    重量(大约)     76公斤

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