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SILAR 涂层系统

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现代薄膜沉积方法之一是连续离子层吸附和反应 (SILAR) 方法,也称为化学浴沉积的改进版本。由于它是一种化学方法,因此可以涂覆多种基材。 Holmarc 的 SILAR 涂层系统旨在使整个过程自动化,以避免操作员疲劳和与之相关的错误。在手动 SILAR 过程中,操作员必须执行数百次重复浸入溶液和水中。在可能持续数小时的手动过程中,很难控制浸渍持续时间和浸渍次数。在自动化装置中,操作员只需将基板夹入支架中,并为控制器设置所需的浸渍周期和持续时间。 在这个模型中,可以使用 4 个烧杯。可以为每个烧杯设置浸渍速度、浸渍持续时间、检索速度和干燥持续时间。旋转速度可编程为 0 – 10 度/秒。在这个模型中没有加热器和搅拌器。该过程在室温下进行。 在这种技术中,薄膜是按照一种称为连续离子层吸附和反应 (SILAR) 的化学技术沉积在玻璃基板上的。该技术涉及将基材多次浸入给定溶液和去离子水中,两者的温度可能因情况而异。
    操作模式     手动(液晶屏)
    执行器     步进电机
    驱动机构     丝杆
    浸泡时间     0 – 99 秒/分钟/小时
    浸渍次数     1 – 999
    电源输入     230V, 50Hz
    电脑连接     串行端口 (RS 232)
    行程     75 毫米
    烧杯位置数     4
    可以加载的样品数量     5
    放置烧杯的平台     不需要
    浸入最小/最大速度     2 微米/秒 – 9000 微米/秒
    检索最小/最大速度     2 微米/秒 – 9000 微米/秒

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