诸如溶液分配速率和喷头移动速度等难以手动控制的参数由基于PC的自动化系统精确控制。使用由步进电机和微处理器控制的正排量泵按要求分配溶液。喷头移动也由X和Y方向的步进电机驱动的线性平台控制。基板加热板的温度通过专用控制器独立控制。
喷雾热解系统专为薄膜研究实验室而设计,尤其是用于太阳能电池开发。该系统可自动执行手动执行技术中涉及的各种疲劳和错误产生工艺。此外,符合人体工程学设计的腔室可提供适合现代实验室条件的清洁健康的环境。
使用装有Windows操作系统的台式计算机通过串行端口控制操作。我们专用的喷雾热解系统软件也可用于记录用于样品制备的相关参数,如温度、气压、持续时间等。
喷雾热解是一种将溶液喷洒在加热表面上以沉积薄膜的工艺,其中成分发生反应形成化合物。选择化学反应物,使得除所需化合物以外的产物在沉积温度下易挥发。该工艺特别适用于氧化物的沉积,长期以来一直是将氧化锡 (SnO2) 或氧化锡的透明电导体应用于玻璃的生产方法。
影响涂层粘合和后续形成的因素: 清洁度 表面积 表面形貌或轮廓 温度(热能) 速度 时间(反应速率、冷却速率等) 物理和化学性质 物理和化学反应
分配装置容量
分配速率
喷雾器
X 轴驱动速度(最小-最大)
Y 轴驱动速度(最小-最大)
喷雾器横移
基板底板
尺寸
最高温度
电源输入
PC 连接
50ml & 250ml
1 – 10ml / min.
10 – 800mm / sec
1 – 12mm / sec
X – Y 200mm max.
150 x 150mm
500° C
230V, 50Hz
Serial port (RS 232)
配件:
尼龙管:该管将溶液从玻璃分配器输送到喷头。尼龙对喷雾热解应用中的大多数化学物质具有抵抗力。