带编码器滑轨系统的斐索干涉仪
型号：HO-OFIZ-216A

斐索干涉仪是最简单、用途最广泛的干涉仪之一，常用于平面和球面的常规测量。它用于测量光学元件，如平面、棱镜、透镜或精密金属部件，如轴承、密封面或抛光陶瓷。可以使用静态条纹分析软件进行测量。干涉仪基本上配有高光学质量 (λ/20) 参考平面。测试表面的反射与参考平面的反射发生干涉，产生条纹。条纹的形状和质量取决于测试平面的表面质量。使用高分辨率 CCD 相机对条纹进行数字化。

通过分析条纹，我们可以获得P-V平面度、RMS平面度、3D表面图等。倾斜/倾斜测试基座允许测试样品与参考表面对齐。高质量的像差校正光学设计提高了性能。

规格
最大样本尺寸：≤ 100 mm
参考光学元件：可接受任何标准卡口式安装座
精度：≤ λ/20 PV
激光源：DPSS 5.0 mW / 632.8 He-Ne激光
扩束器：带针孔的60x显微镜物镜。
准直透镜：焦距 500 mm，直径100 mm消色差透镜。
对准：基于相机
相机 1：3.0 百万像素CCD，分辨率可选
相机 2：5.0 百万像素CCD，分辨率可选
分析：使用条纹分析软件（开放条纹和快速条纹）
重量：约25Kg
电源：220V，50Hz
平移台：带光学编码器的手动线性平移台
行程和分辨率：1200 毫米行程长度和 2µm分辨率。
编码器输出：带 PC接口和软件

光学设置
空间滤光片组件和正消色差透镜用于扩展和准直氦氖激光器。在准直透镜之后，固定参考平面。光从参考平面反射回来。立方体分束器放置在光束扩展器附近，将反射光反射到变焦镜头和CCD。该反射光的一部分落在用于对准模式的对准相机上。来自测试样品的反射光也会沿相同路径折回从，并发生干涉。