探针台显微镜配备无限远校正光学系统，用于观察和放置探针尖端在样品接触点上的位置。高度校正的长工作距离复消色差物镜可提供超高质量的图像。长工作距离平面复消色差物镜允许观察多层样品。HO-PSM系列显微镜采用四重旋转物镜转换器（4镜头转换转盘），物镜安装螺纹为M26 X 0.706，共焦距为95毫米。为落射和倾斜照明提供强度可调的高亮度白色 LED。7 英寸高清 LCD 直接固定在显微镜上。

显微镜：
光学系统：无限远校正（200mm 筒镜）
观察方法：明场
照明：反射（同轴和倾斜）
照明系统：高亮度白色 LED
物镜转盘：旋转式，四重，带正向精密止动装置
观察头：Siedentopf 三目观察头，30 度倾斜，48-75mm IP 调节
目镜：广角目镜
放大倍数：10X，
FN：20mm
筒直径：30mm，屈光度可调。
调焦：滚轮导轨（齿条齿轮）
物镜：Plan Apo 5X
类型：长工作距离平场复消色差物镜
NA：0.14,
工作距离：34mm,
焦距：40mm,
带目镜的视场：4mm
带相机的视场 1.14 x 0.856mm，对角线 1.426

相机
光学格式：1/2.5” CMOS
有源成像器尺寸：5.70mm x 4.28mm，对角线 7.13mm
有源像素：2592 x 1944 (5Mp)
像素尺寸：2.2 x 2.2 um
彩色滤光片阵列：RGB Bayer 模式
快门类型：全局复位释放 (GRR)、仅快照、电子滚动快门 (ERS)最大数据速率/主时钟：96MHz 时 96Mp/s（2.8 V I/O），48MHz 时 48 Mp/s（1.8 V I/O）
帧速率：全分辨率–可编程高达 15fps，
VGA（640×480 带合并）–可编程高达 70 fps
ADC分辨率：12 位，芯片上
像素动态范围：70.1 dB
工作温度：-30 ℃至+70 ℃

应用包括故障分析、LED、MEMS、光电子、器件特性、晶圆级可靠性等。我们提供全套配件，让您可以定位、导航和接触被测晶圆或器件。

手动和电动探针定位器
我们为任何应用提供各种手动和电动探针定位器
振动隔离台
轻微的振动会导致探针跳跃并错过接触，显微镜图像会变得模
糊。Holmarc 提供各种振动隔离光学台和工作站以满足您的需
求。有关详细信息，请参阅第 1 章。
数字成像系统
数字成像系统改进了样本导航和软件自动化。
样品架-卡盘
Holmarc可根据受测基材提供定制卡盘。