电子散斑干涉仪 (ESPI) 是一种研究表面变形的无损光学方法。它依赖于测试物体的漫反射光与参考光束之间的干涉。

这是最灵敏的干涉技术之一，因此我们可以测量平面内或平面外的亚微米级位移。变形前后的图像由CCD相机记录，并使用图像分析软件进行分析。变形会导致条纹图案发生变化。可以借助提供的软件分析这些变化以发现变形。

由于该干涉仪对振动噪声高度敏感， ESPI 配备了振动隔离光学面包板。使用输出功率为5mW的线性偏振632.8nm He-Ne激光器作为光源。分束器将激光束分成两束。透射光束通过空间滤波组件均匀地照射到测试物体上，反射光束作为参考光束落在CCD上，被照射的测试物体的图像被变焦镜头和CCD捕获。

电子散斑干涉仪 (ESPI)系统允许用户在同一系统中执行电子散斑剪切干涉测量法，而无需干扰光学设置和校准。相机应用软件有助于捕捉和分析图像。