薄膜光谱反射仪是工业和研究中用于分析薄膜厚度的基本仪器。能够高速、可重复地分析薄膜厚度、复杂折射率和表面粗糙度。TFSR理论采用菲涅尔方程的复矩阵形式来计算反射率和透射率。绝对反射光谱是反射仪背后的原理；它是反射光束（通常是单色）的强度与入射光束强度的比率。

垂直入射到样品表面的光束依次从薄膜表面的顶部和底部反射，这些光束受到干扰，并通过计算机通过光纤引导到附有CCD的光谱仪上。在显示器上，我们得到干涉振荡与薄膜厚度成正比的光谱图。

薄膜光谱反射仪可用于分析各种堆叠（如介电、晶体、非晶态、金属和吸收样品）的单层、独立层和粗糙层厚度。粗糙度处理通过EMA建模完成。

Fig. 薄膜界面反射光的干涉